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发明名称 A workpiece or specimen support assembly for a charged particle beam system
摘要
申请公布号 GB2414858(A) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 GB20040012430 申请日期 2004.06.03
申请人 * NANOBEAM LIMITED 发明人 TAO * ZHANG
分类号 G03F7/00;G03F7/20;H01J37/20;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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