发明名称 |
负型青紫色激光感光性组合物、图像形成材料、图像形成元件和图像形成方法 |
摘要 |
本发明提供了一种负型青紫色激光感光性组合物,其对青紫区域的激光束具有高灵敏度,并且不仅在黄色灯下安全光性能优异,而且所得到的图像具有优异的分辨率性能和矩形性能,所述负型青紫色激光感光性组合物特别适合用作干膜抗蚀材料以用于青紫色激光束的直接记录。本发明还提供了采用所述负型青紫色激光感光性组合物的图像形成材料、图像形成元件和图像形成方法。具体地说,本发明提供了一种负型青紫色激光感光性组合物,其特征在于,该组合物在曝光于青紫色激光束时,使膜残留率达到至少90%的最小曝光量至多为40mJ/cm<SUP>2</SUP>,而且在以曝光部分上的膜残留率(t(%))对青紫色激光束的曝光量对数(logE(mJ/cm<SUP>2</SUP>))作图而得到的膜残留率/曝光量曲线中,连接所述膜残留率的15%点和80%点的直线的γ值(t=γlogE+δ)至少为4.0×10<SUP>2</SUP>。本发明还提供了采用所述负型青紫色激光感光性组合物的图像形成材料、图像形成元件和图像形成方法。 |
申请公布号 |
CN1705913A |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
申请号 |
CN200480001373.5 |
申请日期 |
2004.09.22 |
申请人 |
三菱化学株式会社 |
发明人 |
水上润二;龟山泰弘;利光惠理子;瑞穗右二 |
分类号 |
G03F7/031;G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/031 |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁香兰 |
主权项 |
1.一种负型青紫色激光感光性组合物,其特征在于,该组合物在曝光于青紫色激光束时,使膜残留率达到至少90%的最小曝光量至多为40mJ/cm2,而且在以曝光部分上的膜残留率(t(%))对青紫色激光束的曝光量对数(logE(mJ/cm2))作图而得到的膜残留率/曝光量曲线中,连接所述膜残留率的15%点和80%点的下列公式(1)的直线的γ值至少为4.0×102: t=γlogE+δ(1)。 |
地址 |
日本东京 |