发明名称 THE MANUFACTURING METHOD OF GAS-INJECTOR CERAMIC TUBE USED IN CEMICONDUCTOR-MAKING
摘要
申请公布号 KR20050114927(A) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 KR20040040037 申请日期 2004.06.02
申请人 YOUN, SEOK BO 发明人 YOUN, SEOK BO
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址