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发明名称 Method for forming ferroelectric capacitor capable of improving adhesion between bottom electrode and ferroelectric layer
摘要
申请公布号 KR100533974(B1) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 KR20030043035 申请日期 2003.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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