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发明名称 Plate manipulation device
摘要
申请公布号 EP1445792(A3) 申请公布日期 2005.12.07
申请号 EP20040001552 申请日期 2004.01.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AIGNER, KURT, DR.;BINDER, ALFRED;MATSCHITSCH, MARTIN;MICHENTHALER, NORBERT;KROUPA, GERHARD;PUCHER, GERHARD
分类号 H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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