发明名称 |
包含电容器及较佳平面式晶体管的集成电路装置及制造方法 |
摘要 |
本发明说明了一种集成电路装置(140),尤其是一种含有一较佳平面式晶体管(142)与一电容器(144)的集成电路装置(140),该电容器(144)的底部电极与该晶体管(142)的一信道区域共同排列在一SOI基板中,该电路装置(140)易于制造且具有绝佳的电子特性。 |
申请公布号 |
CN1706045A |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
申请号 |
CN200380101668.5 |
申请日期 |
2003.10.10 |
申请人 |
因芬尼昂技术股份公司 |
发明人 |
R·布雷德洛;J·哈特维奇;C·帕查;W·雷斯纳;T·舒尔滋 |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴立明;梁永 |
主权项 |
1.一种集成电路装置(140),其具有一电性绝缘绝缘区域及至少一组区域,该组区域形成一电容器(144)且该电容器(144)依下列顺序包含:一靠近该绝缘区域的电极区域(34),一介电区域(46),以及一远离该绝缘区域的电极区域(56),该绝缘区域是排列在一平面中的一绝缘层(14)的一部份,该集成电路装置(140)的该电容器(144)与至少一主动组件(142)是排列在该绝缘层(14)的同一侧,而靠近该绝缘区域的该电极区域(34)与该组件(142)的主动区域(84)是排列在一平行于该绝缘层(14)所在平面的平面中。 |
地址 |
德国慕尼黑 |