具有边缘遮蔽和气体清除的静电卡盘晶片端口和顶板

摘要

提供一种用于处理半导体晶片的设备。根据本发明的设备包括包含静电卡盘的晶片端口凸缘和包含缘的顶板。静电卡盘限定了周围气体分布槽和设置在半导体晶片背面和所述静电卡盘之间的气隙。设置该缘以遮蔽晶片的外部带。要强调地是，提供摘要来遵照需求摘要的规则，该摘要将使搜索者或其它读者快速地确定技术公开的主题。应当理解该摘要并不用于解释或限制权利要求的范围或含义。

主权项

1.一种处理半导体晶片的设备，包括：晶片端口凸缘，其中所述的晶片端口凸缘包括静电卡盘，且其中所述静电卡盘限定了周围气体分布槽和设置在半导体晶片背面和所述静电卡盘之间的气隙；和顶板，其中所述顶板包括一个缘，且其中设置所述缘以遮蔽所述晶片的外部带。