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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100533553(B1) 申请公布日期 2005.12.06
申请号 KR20030093271 申请日期 2003.12.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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