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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050113821(A) 申请公布日期 2005.12.05
申请号 KR20040038938 申请日期 2004.05.31
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YONG WOO;PARK, JONG CHUL;JEONG, SANG SUP
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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