发明名称 Method for forming capacitor of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100532937(B1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 KR20030048225 申请日期 2003.07.15
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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