发明名称 Cylindrical magnetron for sputtering
摘要
申请公布号 KR200402621(Y1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 KR20050025691U 申请日期 2005.09.06
申请人 发明人
分类号 H01F41/14;(IPC1-7):H01F41/14 主分类号 H01F41/14
代理机构 代理人
主权项
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