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发明名称 FABRICATION OF A SEMICONDUCTOR DEVICE WITH AIR GAPS FOR ULTRA-LOW CAPACITANCE INTERCONNECTIONS
摘要
申请公布号 KR100532801(B1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 KR19997006596 申请日期 1999.07.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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