发明名称 PROBER SYSTEM AND METHOD FOR DISTINGUISHING BADNESS OF A SEMICONDUCTOR WAFER THEREOF
摘要
申请公布号 KR100532757(B1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 KR20030096738 申请日期 2003.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址