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发明名称
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR100532894(B1)
申请公布日期
2005.12.02
申请号
KR20020079536
申请日期
2002.12.13
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;G11C11/405;H01L21/8238;H01L21/8242;H01L21/84;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/108;H01L27/11;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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