发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE MULTI-COUCHES COMPORTANT, EN PROFONDEUR, UNE COUCHE DE SEPARATION
摘要 <P>Procédé de réalisation d'une structure multi-couches comportant, en profondeur, une couche de séparation, consistant à réaliser une structure initiale multi-couches (1) comportant un substrat de base (2), un substrat de surface (5) et, entre le substrat de base et le substrat de surface, une couche absorbante (3) susceptible d'absorber un flux de puissance lumineuse sur au moins une zone et une couche intermédiaire liquéfiable (4) comportant sur au moins une zone des impuretés présentant un coefficient de ségrégation par rapport au matériau constituant cette couche intermédiaire inférieur à un ; et à soumettre, pendant une durée déterminée et sous la forme d'au moins une impulsion, ladite structure initiale (1) audit flux de puissance lumineuse, ce flux étant réglé de façon à produire la liquéfaction d'au moins une partie de ladite couche intermédiaire (4) sous l'effet de la propagation de l'énergie thermique; de telle sorte qu'il résulte, grâce à la présence initiale desdites impuretés, une modification d'au moins une caractéristique et/ou d'au moins une propriété de ladite couche intermédiaire (4) à l'issue de la solidification au moins partielle de ladite couche intermédiaire, telle que cette couche intermédiaire constitue au moins partiellement une couche de séparation.</P>
申请公布号 FR2870988(A1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 FR20040005883 申请日期 2004.06.01
申请人 BRUEL MICHEL 发明人 BRUEL MICHEL
分类号 H01L21/324;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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