发明名称 METHOD FOR PRODUCING DIAMOND FILMS USING A VAPOURPHASE SYNTHESIS SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100532864(B1) 申请公布日期 2005.12.02
申请号 KR19997000268 申请日期 1999.01.15
申请人 发明人
分类号 C01B31/06;C30B29/04;C23C16/02;C23C16/27;C23C16/56;C30B25/10;H01J1/30;H01J9/02;(IPC1-7):C01B31/06 主分类号 C01B31/06
代理机构 代理人
主权项
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