矽光电装置

摘要

一种光电积体电路系藉由以下方法制成，其将隔离渠沟形成于一SOI结构内，以形成至少第一及第二矽区；在一第一矽形成步骤期间将一第一矽突块形成于该第一矽区上方，使该第一矽突块形成一光学装置之至少一部分；在一第二矽形成步骤期间将一第二矽突块形成于该第二矽区上方，使该等第一及第二矽形成步骤为分开之矽形成步骤；及至少处理该第二矽区以形成一具有该第二矽突块之电子装置。