发明名称 钛剥离液
摘要 本发明系提供一种将钛剥离液做成含有氟化合物及具有还原力之金属离子之pH5以下的水溶液,藉由具还原力之金属离子对其他金属之表现抑制腐蚀效果,同时,可藉由氟化物使钛以高度蚀刻速度进行蚀刻者。
申请公布号 TW200538585 申请公布日期 2005.12.01
申请号 TW094102522 申请日期 2005.01.27
申请人 美录德有限公司 发明人 藤田康治;野崎孝志;石野由紘
分类号 C23F1/30 主分类号 C23F1/30
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本