利用相容化学品之基板刷子擦洗与近接清洗乾燥程序、及近接基板制备程序、以及前述程序之实施方法、设备与系统

摘要

一种基板的正面与背面之清洗及乾燥用的方法。本方法系包括使用一擦洗流体化学品擦洗基板的背面。本方法更包括一旦完成背面的擦洗之后，就在基板的正面之上施加一正面弯液面。正面弯液面系含有一正面清洗化学品，而正面清洗化学品则与擦洗流体化学品呈化学性相容。亦提供一种基板之表面的制备方法。本方法系包括藉由一弯液面扫掠基板之表面、使用弯液面制备基板之表面、及在不需进行一冲洗操作的情况下，在已制备的基板之表面之上进行次一制备操作。