清理远端电浆产生管之内部的方法以及使用此方法处理基板的方法与装置

摘要

一种清理远端电浆产生管的方法以及使用此方法处理基板的方法与装置，包括提供一清理气体进入远端电浆产生管以产生远端电浆，此远端电浆产生管被连接至一个处理室以使用远端电浆处理基板，从清理气体形成清理电浆，以及使用清理电浆移除形成在远端电浆产生管内的粒子。