茀化合物

摘要

本发明提供一种具二叠氮磺酸酯基之酯型茀化合物、含有该化合物之感光剂，以及含有感光剂之感放射线性树脂组成物。此种组成物系可以用来做为半导体积体电路或LCD用TFT电路制造用之光阻材料、或者层间绝缘膜、保护膜等之永久膜成形材料。