线内式有机电激发光制造装置

摘要

本发明提供一种提高成膜品质，并且生产效率高之线内式有机电激发光制造装置。在线内式有机电激发光制造装置中，构成使用将遮罩予以一体化之托架来保持基板，藉由在基板上配置冷却板，抑制基板之温度上昇，而进行连续搬运。并在装置内部设置差动排气部D1至D4，可在不同真空度之处理室间，不停止基板而连续搬运。