发明名称 防止基板翘曲之治具
摘要 一种防止基板翘曲之治具,包括一支撑结构及一定位结构。支撑结构系装设于基板之一非作业区,用以压合该基板于工作台、或双面夹持该基板。定位结构系用以定位基板、支撑结构及工作台。藉此,基板平坦地固定于工作台上。
申请公布号 TWI244736 申请公布日期 2005.12.01
申请号 TW094105955 申请日期 2005.02.25
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 刘承政;刘俊成;林志良
分类号 H01L23/32 主分类号 H01L23/32
代理机构 代理人 林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 1.一种防止基板翘曲之治具,该基板系置放于一工作台,该治具包括:一支撑结构,装设于该基板之一非作业区;以及一定位结构,用以定位该基板、该支撑结构及该工作台;藉以使得该基板平坦地固定于该工作台上。2.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该基板包括一第一表面及一第二表面,该基板之该第一表面系面向该工作台。3.如申请专利范围第2项所述之治具,其中该支撑结构系一单面支撑架,装设于该第二表面之该非作业区,用以压合该基板于该工作台。4.如申请专利范围第2项所述之治具,其中该支撑结构系一支撑夹具,用以双面夹持该基板,该支撑夹具包括:一第一支撑架,装设于该第一表面之该非作业区:以及一第二支撑架,装设于该第二表面之该非作业区,该第二支撑架系相对于该第一支撑架。5.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该支撑结构包括复数个支撑条。6.如申请专利范围第5项所述之治具,其中该些支撑条系一体成形。7.如申请专利范围第5项所述之治具,其中该些支撑条系呈栅栏状排列。8.如申请专利范围第5项所述之治具,其中该些支撑条系呈格状排列。9.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该基板、该支撑结构及该工作台系相互扣接。10.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该基板、该支撑结构及该工作台系相互铆接。11.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该定位结构包括:一第一定位件,配置于该工作台上;一第二定位件,配置于该基板上;以及一第三定位件,配置于该支撑结构上;其中,该第一定位件、该第二定位件及该第三定位件系相互对应且紧配。12.如申请专利范围第11项所述之治具,其中该第二定位件系套设于该第一定位件,该第三定位件系套设于该第二定位件。13.如申请专利范围第11项所述之治具,其中该第二定位件具有一第二定位孔,该第三定位件具有一第三定位孔,且该第二定位孔及该第三定位孔系分别套设于该第一定位件。14.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该支撑结构系一具有低热膨胀系数之刚性体。15.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该治具所适用之该基板系一薄型基板。图式简单说明:第1图绘示经烘烤制程后之习知薄型基板的侧视图。第2图绘示依照本发明一较佳实施例之一种防止基板翘曲之治具的上视图。第3图绘示依照本发明第一实施例之单面压合型治具,沿着第2图之剖面线C-C的侧视剖面图。第4A图系第3图之单面压合型治具,其扣接式定位结构之分解剖面图。第4B图系第3图之单面压合型治具,其铆接式定位结构之分解剖面图。第5图绘示依照本发明第二实施例之双面夹持型治具,沿着第2图之剖面线C-C的侧视剖面图。第6A图绘示系第5图之双面夹持型治具,其扣接式定位结构之分解剖面图。第6B图绘示系第5图之双面夹持型治具,其铆接式定位结构之分解剖面图。
地址 高雄市楠梓加工区经三路26号