发明名称 用于在大气压下产生低温电浆的装置
摘要 本案揭露一种用于在大气压下产生低温电浆的装置,其包含:一对的电极,其以一距离面对彼此,其中一者连接至一电源供应器,另一者接地;一对的介电物质,其具有25微米至10公厘的厚度且位于电极的面对表面上面对彼此,其中一者中具有至少一个放电间隙;及一导体电极,其具有位于放电间隙内的至少一个梢部,其中利用50Hz至10GHz频率带宽的一交流电或脉冲直流电经由电源供应器将1至100仟伏特/公分强度的一电场施加过电极,同时在电极之间馈送一反应气体,以自放电间隙引发一中空阴极放电、一毛细放电或高电荷累积。本发明的装置可防止电浆转变为电弧,藉以提供高密度之稳定的低温电浆。
申请公布号 TWI244879 申请公布日期 2005.12.01
申请号 TW091102638 申请日期 2002.02.08
申请人 SE普拉斯玛股份有限公司 发明人 南基锡;李相老;李九铉;罗锺周;金锺国
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种用于在大气压下产生低温电浆的装置,其包含:一对的电极,其以一距离面对彼此,其中一者连接至一电源供应器,另一者接地;一对的介电物质,其具有25微米至10公厘的厚度且位于该等电极的面对表面上面对彼此,其中一者中具有至少一个放电间隙;及一导体电极,其具有位于该放电间隙内的至少一个梢部,其中利用50Hz至10GHz频率带宽的一交流电或一脉冲直流电经由该电源供应器将1至100仟伏特/公分强度的一电场施加过该等电极,同时在该等电极之间馈送一反应气体,以产生该电浆。2.如申请专利范围第1项之装置,其中该放电间隙系具有5微米至2公厘的宽度以及该宽度的5至250倍长之一高度。3.如申请专利范围第1项之装置,其中该等电极为金属制成,且该梢部具有其宽度的0.1至20倍长之一高度并且在每10公厘的该电极长度呈现1至100个之密度。4.如申请专利范围第1或2项之装置,其中该等介电物质系由选自包括下列各物之群组之一种绝缘材料制成:玻璃、氧化铝、氮化硼、碳化矽、氮化矽、石英及氧化镁。图式简单说明:第1图为电极的一种板结构之示意剖视图,其根据第一实施例适合用于一种用于在大气压下产生低温电浆之装置中;第2图为电极的一种管结构之示意剖视图,其根据本发明第二实施例适合用于一种用于在大气压下产生低温电浆之装置中;及第3图系说明提供予导体电极之梢部。
地址 韩国