| 摘要 |
一种曝光装置，用简易的构造防止感光性树脂的挥发物质造成复眼透镜表面的污染。〔解决手段〕一种曝光装置，具备一具有光源21、反射镜41及复眼透镜42的光源室2，以及一经由区隔板6与该光源室2做区隔的曝光室3，其特征为包括：一收纳上述复眼透镜42的框体7以及一将冷却风送至收纳于上述框体7内的复眼透镜42的调温单元51。上述框体7具有形成于对应来自上述光源21的照射光的上述复眼透镜42的入射光路及出射光路的位置上形成的开口部71、72、形成于与该开口部71、72的开口方向正交的位置上的给气口73、以及形成于面向该给气口73的位置上的排气口74，在上述区隔板6上，在对应于上述照射光之光路的位置上，设有使上述照射光穿透的透光元件61。 |
