基板之处理方法

摘要

一种在处理室中之陶瓷基板加热器上处理基板的方法。本方法包含在处理室中之陶瓷基板加热器上形成一保护包覆层，并在该包覆基板加热器上处理一基板。该处理可包含提供一欲处理之基板至该包覆陶瓷基板加热器上，再将该基板暴露至一处理气体以在该基板上进行一处理，接着再将该处理过基板自该处理室中移除。