发明名称 |
于浮动闸极记忆体单元中用于低Vss电阻及减少汲极引发能障降低之结构及方法STRUCTURE AND METHOD FOR LOW VSS RESISTANCE AND REDUCED DIBL IN A FLOATING GATE MEMORY CELL |
摘要 |
依据其中一项例示性的实施例,浮动闸极记忆体单元(202)包括位在基板(204)上及位在该基板(204)内之通道区域(222)上方之堆叠的闸极结构(208)。该浮动闸极记忆体单元(202)更包括形成在邻接该堆叠的闸极结构(208)之基板(204)内之凹槽(228),其中该凹槽(228)具有侧壁(230)、底部(232)及深度(236)。依据此例示性的实施例,该浮动闸极记忆体单元(202)更包括位在邻接该凹槽(228)之侧壁(230)及在该堆叠的闸极结构(208)下方之源极(234)。该浮动闸极记忆体单元(202)更包括位在该凹槽(228)之底部(232)下方及该源极(234)下方之Vss连接区域(238),其中该Vss连接区域(238)为连接至该源极(234)。位在该凹槽(228)之底部(232)下方之Vss连接区域(238)造成该源极(234)在通道区域(222)内具有减少的侧向扩散。 |
申请公布号 |
TW200539457 |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
申请号 |
TW094100952 |
申请日期 |
2005.01.13 |
申请人 |
史班逊股份有限公司 |
发明人 |
方申庆;瑟给 堤摩西;张国栋;法斯托 理查;刘台凤;水谷和宏;高经纬;木下博幸;孙禹;小川裕之 |
分类号 |
H01L29/788;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L29/788 |
代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
主权项 |
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地址 |
美国 |