发明名称 雷射标记方法、雷射标记装置及标记侦测之方法与装置
摘要 一种雷射标记方法及装置。利用一雷射光束在一欲作标记之主体上形成一干涉条纹以制作一标记。
申请公布号 TW200538304 申请公布日期 2005.12.01
申请号 TW094108560 申请日期 2005.03.21
申请人 东芝股份有限公司 发明人 藤原淳史;中山通雄
分类号 B41M5/24;B23K26/00;H01L21/02 主分类号 B41M5/24
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 日本