静电式可动微镜面晶片

摘要

一种静电式可动微镜面晶片，利用焊料当作卡榫来进行接合上下电极板及镜面板，不仅避免因为接合温度太高而造成镜面品质之下降，且接合同时达到被动对准及互相连接(interconnection)的功能，达成元件制作时间较低之优点，以符合光通讯元件制作之需求，更可配合镜片双面镀金属层的设计，消除两侧的应力提高镜面的平坦度。