表面具氧化间隙壁的微机电镜面

摘要

一种微机电镜面结构，系使用蚀刻技术形成侧壁氧化间隙壁，且保持形成于反射层上之氧化层的完整性。分离镜面结构包含反射层形成于上、下层氧化层之间以及一保护层形成于上层氧化层之上。间隙壁氧化层系用于覆盖结构，且氧化间隙壁系以选择性蚀刻制程形成于不连续结构中的侧壁之上。当间隙壁氧化层之水平部分已完全蚀刻乾净，使得位于分离镜面结构下方之释放层与保护层暴露在外，则可停止蚀刻。盖在上层的保护层系于蚀刻间隙壁氧化层时，防止蚀刻技术侵蚀上层氧化层，以保护上层氧化层之完整性与镜面结构之功能。