| 主权项 |
1.一种氮化铝烧结体,其特征在于:藉由含有碳纤维 而控制体积电阻率。 2.如申请专利范围第1项之氮化铝烧结体,其中,室 温之前述体积电阻率系11012cm以下。 3.如申请专利范围第2项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维之含有率系5%以下。 4.如申请专利范围第3项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维之含有率系1%以下。 5.如申请专利范围第1项之氮化铝烧结体,其中,室 温之前述体积电阻率系1104cm以下。 6.如申请专利范围第5项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维之含有率系20%以下。 7.如申请专利范围第6项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维之含有率系10%以下。 8.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧结 体,其中,前述碳纤维系形成连续于该氮化铝烧结 体中之导电通路。 9.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧结 体,其中,前述碳纤维之平均纵横比(纤维长度/纤维 直径)系5以上。 10.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧 结体,其中,前述碳纤维之平均纤维直径系1m以下 。 11.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧 结体,其中,前述碳纤维之平均纤维长度系更加长 于前述氮化铝烧结体之平均结晶粒径。 12.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧 结体,其中,前述碳纤维之平均纤维直径系前述氮 化铝烧结体之平均结晶粒径之1/5以下。 13.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧 结体,其中,前述碳纤维之平均纤维直径系5nm以上 、200nm以下。 14.如申请专利范围第1至7项中任一项之氮化铝烧 结体,其中,前述碳纤维系碳奈米管。 15.如申请专利范围第1项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维系纵横比10以上、平均纤维直径100nm以上 、200nm以下、前述碳纤维之含有率0.4%以上、1%以 下。 16.如申请专利范围第1项之氮化铝烧结体,其中,前 述碳纤维系纵横比10以上、平均纤维直径100nm以上 、200nm以下、前述碳纤维之含有率1%以上、10%以下 。 17.如申请专利范围第1至4项及第15项中任一项之氮 化铝烧结体,其中,热传导率系100W/mK以上。 18.如申请专利范围第1至7项及第15、16项中任一项 之氮化铝烧结体,其中,弯曲强度系300MPa以上。 19.如申请专利范围第1至7项及第15、16项中任一项 之氮化铝烧结体,其中,以氧化物换算而含有稀土 类元素0.2%以上。 20.一种静电夹头,其特征在于包括:成为申请专利 范围第1至7项及第15、16项中任一项所述之氮化铝 烧结体之介电质层和形成于前述介电质层某一边 之面上之电极。 21.一种导电性组件,其特征在于:藉由申请专利范 围第1至7项及第15、16项中任一项所述之氮化铝烧 结体而形成。 22.一种半导体制造装置用组件,其特征在于:藉由 申请专利范围第21项所述之导电性组件而形成。 23.一种除电组件,其特征在于:藉由申请专利范围 第21项所述之导电性组件而形成。 24.一种电场控制组件,其特征在于:藉由申请专利 范围第21项所述之导电性组件而形成。 25.一种电阻发热体,其特征在于:藉由申请专利范 围第21项所述之导电性组件而形成。 26.一种氮化铝烧结体之制造方法,其特征在于包括 : 混合氮化铝原料粉和碳纤维而制作混合原料粉之 制程; 成形前述混合原料粉而形成成形体之制程;以及 在真空气氛、惰性气氛或还原气氛下,来升温及烧 成前述成形体而形成烧结体之制程。 27.如申请专利范围第26项之氮化铝烧结体之制造 方法,其中,在前述混合原料粉,还添加稀土类氧化 物原料粉。 28.如申请专利范围第26或27项之氮化铝烧结体之制 造方法,其中,在形成前述烧结体之制程,使用热冲 压烧结法。 29.如申请专利范围第26或27项之氮化铝烧结体之制 造方法,其中,前述原料混合粉系相对于前述氮化 铝原料粉100重量份而混合前述碳纤维5重量份以下 。 30.如申请专利范围第26或27项之氮化铝烧结体之制 造方法,其中,前述原料混合粉系相对于前述氮化 铝原料粉100重量份而混合前述碳纤维20重量份以 下。 31.如申请专利范围第26或27项之氮化铝烧结体之制 造方法,其中,前述碳纤维系平均纤维直径1m以下 、纵横比5以上。 图式简单说明: 图1系显示本发明之各个实施例之氮化铝烧结体之 制作条件及所制作之氮化铝烧结体之特性之图表 。 图2系显示本发明之各个比较例之氮化铝烧结体之 制作条件及所制作之氮化铝烧结体之特性之图表 。 图3系显示本发明之实施例之氮化铝烧结体之制作 条件及组成分析结果之图表。 图4系显示本发明之实施例、比较例之碳添加量和 氮化铝烧结体之体积电阻率间之关系之图形。 图5系显示本发明之实施例5之氮化铝烧结体之微 细构造之SEM相片 图6系显示本发明之各个实施例之氮化铝烧结体之 制作条件及所制作之氮化铝烧结体之特性之图表 。 图7系显示本发明之实施例之碳纤维添加量和氮化 铝烧结体之体积电阻率间之关系之图形。 |
