| 主权项 |
1.一种探针单元,其包含: 一由无机物质制成且具有一几乎直边缘的可挠性 基板; 一形成于该基板之一表面上且具有对准于该边缘 之一表面上之复数个接触部分的导电膜,且该等接 触部分可与连接至该等接触部分之引导部分及一 样本之电极相接触,其中 当添加力以冲压该接触部分之一表面时,该基板连 同该接触部分弹性地变形,同时该等复数个接触部 分由该边缘支撑。 2.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该基板由 陶瓷制成。 3.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该基板由 氧化锆制成。 4.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该基板由 氧化锆制成,且厚度不大于500m。 5.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该等接触 部分自该基板之该边缘不突出。 6.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该等接触 部分自该基板之该边缘突出。 7.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该等接触 部分之该等表面被涂覆比基底材料硬之金属膜。 8.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该等接触 部分之该等表面被涂覆体积电阻率小于基底材料 之体积电阻率的金属膜。 9.如申请专利范围第1项之探针单元,其中当该等接 触部分冲压焊接于一样本之电极时,该等接触部分 之该等表面中的每一表面都具有一冲压焊接于该 样本之该电极之一表面、几乎平行于该样本之该 电极之该表面的倾斜表面。 10.如申请专利范围第1项之探针单元,其中该基板 由一金属制成,且该探针单元进一步包含一位于该 基板与该专电膜之间的绝缘膜。 11.一种探针单元,其包含: 一由无机物质制成且具有一几乎直边缘的可挠性 基板; 一形成于该基板之一表面上且具有被配置成与该 边缘之一表面分离之复数个接触部分的导电膜,且 该等接触部分可与连接至该等接触部分之引导部 分及一样本之电极相接触,其中: 当添加力以冲压该接触部分之一表面时,该基板连 同该接触部分弹性地变形,同时该等复数个接触部 分由该边缘支撑。 12.一种藉由一固定器来将如申请专利范围第1项之 探针单元固定至一检测装置之一主体之一基底的 方法,其中该探针单元固定于该固定器下方,使得 该基板之该边缘自该固定器之一边缘突出。 13.一种制造探针单元之方法,其包含以下步骤: (a)制备一由无机物质制成且具有一几乎直边缘的 可挠性基板; (b)在该基板之一表面上形成一具有一开口的抗蚀 剂;及 (c)在该开口中藉由电镀来形成一具有对准于该边 缘一表面上之复数个接触部分的导电膜,且可该等 接触部分可与连接至该等接触部分之引导部分及 一样本之电极相接触。 14.如申请专利范围第13项之制造探针单元之方法, 其进一步包含在该步骤(c)后自一逆侧使该基板变 薄以使该探针单元变薄之步骤(d)。 15.如申请专利范围第14项之制造探针单元之方法, 其进一步包含在该步骤(c)与该步骤(d)之间在该导 电膜上形成一保护膜之步骤(e)。 16.一种制造探针单元之方法,其包含以下步骤: (a)制备一由无机物质制成且具有一几乎直边缘的 可挠性基板; (b)在该基板之一表面上形成一具有一开口之抗蚀 剂,以用于曝露该基板之该表面的一部分;及 (c)在该开口中藉由电镀来形成一形成于该基板之 一表面上且具有被配置成与该边缘之一表面分离 之复数个接触部分的导电膜,且该等接触部分可与 连接至该等接触部分之引导部分及一样本之电极 相接触。 图式简单说明: 图1A及图1B系展示根据本发明之一第一实施例之一 第一实例之探针单元的侧视图。 图2A系展示根据本发明之该第一实施例之探针单 元的俯视图。图2B系展示沿图2A中线B-B的横截面图 ,且图2C系展示沿图2A中线C-C的横截面图。图2D系展 示根据本发明之该第一实施例之修改探针单元的 横截面图。 图3A1及图3A2系沿图2A中线B-B之横截面图,且图3B1及 图3B2系沿图2A中线C-C之横截面图。 图4A系展示根据本发明之实施例之探针单元的俯 视图,且图4B系沿图4A中线B-B的横截面图。 图5A系展示根据本发明之第一实施例之一第二实 例之探针单元的俯视图。图5B系沿图5A中线B-B的横 截面图,且图5C系沿图5A中线C-C的横截面图。 图6A系展示根据本发明之第一实施例之一第三实 例之探针单元的俯视图,图6B系沿图6A中线B-B的横 截面图,且图6C系沿图6A中线C-C的横截面图。 图7A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图7B系其横截面图。 图8A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图8B系其横截面图。 图9A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图9B系其横截面图。 图10A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图l0B系其横截面图。 图11A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图11B系其横截面图。 图12A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图12B系其横截面图。 图13A系展示根据本发明之第一实施例之探针单元 之制造方法的俯视图,且图13B系其横截面图。 图14A至图14D系展示根据本发明之第一实施例之探 针单元之制造方法的横截面图。 图15A至图15D系展示根据本发明之第一实施例之探 针单元之制造方法的俯视图。 图16A及图16B系用于解释根据本发明之实施例之探 针单元之使用的横截面图。 图17A及图17B系用于解释根据本发明之实施例之探 针单元之使用的侧视图。 图18系展示根据本发明之实施例之探针单元之使 用的侧视图。 图19系展示根据本发明之实施例之探针单元之使 用的横截面图。 图20A系展示根据本发明之一第二实施例之探针单 元的俯视图,图20B系沿图20A中线B-B之横截面图,且 图20C系沿图20A中线C-C之横截面图。 图21A至图21E系用于解释本发明之该第二实施例之 效果的侧视图。 图22A至图22C系展示根据本发明之第二实施例之探 针单元之制造方法的横截面图。 图23A至图23C系展示根据本发明之第二实施例之探 针单元之制造方法的横截面图。 图24A系展示根据本发明之一第三实施例之探针单 元的俯视图,图24B系沿图24A中线B-B之横截面图,且 图24C系沿图24A中线C-C之横截面图。 图25A至图25C系展示根据本发明之该第三实施例之 探针单元之制造方法的横截面图。 图26A系展示根据本发明之一第四实施例之探针单 元的俯视图,图26B系沿图26A中线B-B之横截面图,且 图26C系沿图26A中线C-C之横截面图。 图27A系展示根据本发明之一第五实施例之探针单 元的俯视图,图27B系展示根据本发明之一第六实施 例之探针单元的俯视图,且图27C系展示根据本发明 之一第七实施例之探针单元的俯视图。 |
