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Eine Messeinrichtung (1) zur Vermessung der Form, Kontur und/oder Rauheit eines Werkstücks beruht auf einem berührungslosen optischen Taster mit großer numerischer Apertur, der wenigstens zwei verschiedene Brennpunkte hat, denen wenigstens zwei Fotoempfänger zugeordnet sind. Diese erzeugen ein Differenzsignal zur Ansteuerung einer Positioniereinrichtung (13) zur Nachführung des optischen Tasters so, dass die Werkstückoberfläche innerhalb des Messbereichs desselben gehalten wird. Das Differenzsignal bewährt sich zur schnellen und genauen Nachführung zur Position der Senoranordnung (3).
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