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发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Gehäuses für einen Chip mit einer mikromechanischen Struktur
摘要
申请公布号 DE10246101(B4) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 DE2002146101 申请日期 2002.10.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DAECHE, FRANK;WEBER, MICHAEL;DANGELMAIER, JOCHEN;EHRLER, GUENTER;MECKES, ANDREAS
分类号 B81B7/00;(IPC1-7):B81C3/00;H01L23/04 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
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