发明名称 Bubbler for constant vapor delivery of a solid chemical
摘要
申请公布号 AU2005245634(A1) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 AU20050245634 申请日期 2005.05.17
申请人 AKZO NOBEL N.V. 发明人 NADA EL-ZEIN;DENNIS LEON DEAVENPORT;TAEHO KO;NAM HUNG TRAN
分类号 C23C16/448 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
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