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发明名称 Verfahren zum Ätzen von Silizium
摘要
申请公布号 DE69635326(D1) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 DE19966035326 申请日期 1996.04.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 LEE, YOUNG HOON;MILKOVE, KEITH RAYMOND;STIEBRITZ, JR.
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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