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发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING FOUP IN SEMICONDUCTOR WAFER PROBER
摘要
申请公布号 KR20050112857(A) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 KR20040038285 申请日期 2004.05.28
申请人 SEMICS INC. 发明人 NA, HYUN CHAN;CHO, IN DONG;KIM, JUNG SUN
分类号 H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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