发明名称 |
VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEM POLIEREN |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69927935(D1) |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
申请号 |
DE19996027935 |
申请日期 |
1999.07.31 |
申请人 |
DOOSAN DND CO., LTD. |
发明人 |
LEE, KYU-HONG;LEE, YONG-BYOUK;KANG, SANG-WON |
分类号 |
B24B41/047;B24B7/00;B24B37/04;B24B47/12;B24B49/16;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
B24B41/047 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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