| 发明名称 |
Volatile copper(II) complexes for deposition of copper films by atomic layer deposition |
| 摘要 |
The present invention relates to a process for the synthesis of novel 1,3-diimine copper complexes using amino-imines and novel amino-imines.
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| 申请公布号 |
US2005267305(A1) |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
| 申请号 |
US20040013774 |
申请日期 |
2004.12.16 |
| 申请人 |
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发明人 |
BRADLEY ALEXANDER Z.;THORN DAVID L. |
| 分类号 |
C07C249/02;C07C251/12;C07C251/16;C07D213/74;C07F1/08;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07D213/26 |
主分类号 |
C07C249/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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