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发明名称 WAFER TRAY
摘要
申请公布号 KR20050113008(A) 申请公布日期 2005.12.01
申请号 KR20040038489 申请日期 2004.05.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KYUNG HYUNG
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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