| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING SOLID ELEMENT PLASMA AND ITS PLASMA SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050112720(A) |
申请公布日期 |
2005.12.01 |
| 申请号 |
KR20040038105 |
申请日期 |
2004.05.28 |
| 申请人 |
LEE, HAG JOO |
发明人 |
LEE, HAG JOO;LEE, BONG JU |
| 分类号 |
H01L21/203;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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