Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Kaltgasspritzen. Erfindungsgemäß wird den Partikeln mit Mikrowellentechnik Energie zugeführt. Dazu ist die Düse (1), in welcher Gasstrahl und Partikeln beschleunigt werden, von einem Mikrowellenhohlleiter (6) umgeben oder/und ein/der Mikrowellenhohlleiter (6) umschließt zumindest teilweise den Spritzfreistrahl zwischen Düsenauslauf (3) und Substrat. Vorteilhafterweise ist ein Abschnitt des Düsenauslaufs (3) aus einer Keramik (4) gefertigt.