发明名称 |
A SCATTEROMETER AND A METHOD FOR INSPECTING A SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1599720(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.30 |
申请号 |
EP20040712134 |
申请日期 |
2004.02.18 |
申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
WADMAN, SIPKE |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/47;(IPC1-7):G01N21/47 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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