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发明名称 ROBOT ARM TO TRANSFER WAFFERS
摘要
申请公布号 KR20050112395(A) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR20040037465 申请日期 2004.05.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YONG KYU;JEON, JIN HO;KWON, KYOUNG SOO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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