一种合金薄板的制备方法

摘要

一种合金薄板的制备方法，它涉及一种制备合金薄板工艺的改进。本发明的目的是为解决难以塑性变形的金属材料及金属间化合物的薄板的制备问题。本发明准备待蒸发的材料棒和基板；将待蒸发的材料棒分别放入水冷铜坩埚中，将基板安装在基板转轴上，并将真空室抽真空至1～5×10^－3Pa；将加热基板调至规定温度；加热、蒸发分离层料棒，沉积分离层；停止沉积分离层，加热、蒸发金属合金棒，沉积金属合金层；停止电子枪加热，取出基板，并从基板上分离金属合金层得到合金薄板。本发明的显著优势在于可以将所生产合金薄板的厚度控制在5μm～5000μm之间，且本发明不仅仅局限于合金，薄板的材料可以是纯金属、金属间化合物、氧化物弥散强化合金、陶瓷。

主权项

1、一种合金薄板的制备方法，其特征在于它包含以下步骤：一、准备待蒸发的材料棒和基板；二、将待蒸发的材料棒分别放入水冷铜坩埚中，将基板安装在基板转轴上，并将真空室抽真空至1～5×10-3Pa；三、设定工艺参数；四、将加热基板调至规定温度；五、加热、蒸发分离层料棒，沉积分离层；六、停止沉积分离层，加热、蒸发金属合金棒，沉积金属合金层；七、停止电子枪加热，待温度降低，取出基板，并从基板上分离金属合金层得到合金薄板。