| 发明名称 |
INSPECTION APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS IN TRANSPARENT SUBSTRATES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1599722(A2) |
申请公布日期 |
2005.11.30 |
| 申请号 |
EP20040717517 |
申请日期 |
2004.03.04 |
| 申请人 |
CORNING INCORPORATED |
发明人 |
GAHAGAN, KEVIN;HILTNER, JASON |
| 分类号 |
G01N21/41;G01N21/896;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/896 |
主分类号 |
G01N21/41 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
