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发明名称 FILTERING SYSTEM IN PLASMA POLYMERIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100532034(B1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR20000012088 申请日期 2000.03.10
申请人 发明人
分类号 C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项
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