发明名称 SEPARATING SEMICONDUCTOR WAFERS HAVING EXPOSED MICROMECHANICAL STRUCTURES INTO INDIVIDUAL CHIPS
摘要
申请公布号 EP1599412(A1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 EP20040713843 申请日期 2004.02.24
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 KNECHTEL, ROY;HELLER, JUTTA;LINDEMANN, GUNNAR
分类号 B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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