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发明名称 Method of removing oxide film in salicide process
摘要
申请公布号 KR100505059(B1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR19980032304 申请日期 1998.08.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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