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发明名称
COATING AND DEVELOPING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
KR100532218(B1)
申请公布日期
2005.11.30
申请号
KR19990032185
申请日期
1999.08.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;B05C11/08;G02B5/20;G03F7/00;G03F7/16;G03F7/30;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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